В DFD процессы представляют собой функции системы, преобразующие входы в выходы. Процессы изображаются прямоугольниками со скругленными углами. Их смысл совпадает с блоком IDEF0 и единицами работы IDEF3. Так же, как и в IDEF3, они имеют входы и выходы, но не поддерживают управление и механизмы. Каждый процесс должен быть именован глаголом с последующим дополнением. Кроме того, каждый процесс должен иметь уникальный номер.

Физически процесс может быть реализован различными способами: это может быть подразделение организации, выполняющее обработку входных документов и выпуск отчетов, программа, аппаратно реализованное логическое устройство.

Потоки данных определяют информацию, передаваемую через некоторое соединение от источника к приемнику. Поток данных изображается линией, заканчивающейся стрелкой, которая показывает направление потока. Каждая стрелка имеет имя, отражающее его содержание.

Реальный поток данных может быть информацией, передаваемой по кабелю между двумя устройствами, пересылаемыми по почте письмами, магнитными дискетами, переносимыми с одного компьютера на другой.

Поскольку в DFD каждая сторона блока не имеет четкого назначения, как в IDEF0, то стрелки могут подходить и выходить из любой грани блока. В DFD также применяется двунаправленные стрелки для описания диалогов типа команда-ответ.

В отличие от потока данных, описывающих объекты в движении, хранилища данных изображают объекты в покое. Хранилище представляет собой абстрактное устройство для хранения информации, которую можно в любой момент поместить в хранилище и через некоторое время извлечь, причем способы помещения могут быть любыми. Имя хранилища должно идентифицировать его содержимое и быть существительным.

Хранилище физически может быть реализовано в виде ящика в картотеке, таблицы в оперативной памяти, файла на магнитном диске. То есть хранилище в общем случае является прообразом будущей базы данных.

Внешняя сущность представляет собой материальный объект или физическое лицо, представляющее собой источник или приемник инфор­мации (например, заказчик, персонал, поставщик, клиенты, склад). Ее имя должно содержать существительные. Определение неко­торого объекта или системы в качестве внешней сущности указывает на то, что она находится за пределами границ анализируемой системы.

Внешняя сущность обозначаются в виде прямоугольника с тенью и обычно располагаются по краям диаграммы. Одна внешняя сущность может быть использована многократно на одной диаграмме. Обычно такой прием используют, чтобы не рисовать слишком длинных и запутанных стрелок.